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六维压电纳米位移台 ║P685S

产品参数
运动轴 X,Y,Z,θX,θY,θZ
行程 500μm±5mrad
分辨率 2.5nm0.05μrad
外形尺寸 175x175x35mm
中空尺寸 75x75mm
结构类型 机构放大式并联结构

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六维压电纳米位移台 ║P685S是采用压电陶瓷驱动的六维并联式压电陶瓷定位平台,六维压电纳米位移台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构,采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的导向精度,且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点,压电陶瓷平台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,确保了压电平台具有极佳的运动控制精度,定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级。压电陶瓷定位平台内部采用并联式结构设计 , 结构紧凑,所有促动器作用在同一个移动台面上,可同时实现多轴运动且每轴具有相同的动态性。对比嵌套式或叠堆式的串联结构,并联结构有着更轻的质量,更低的惯量和更高的动态性。中空式设计,且中央通孔较大,可更好的适用于显微及扫描系统中。


典型应用:扫描显微镜(SPM) • 干涉 • 计量 • 掩模/晶圆定位 • 度量衡学 • 生物技术 • 显微光学 • 激光技术 • 微操作等。

六维压电纳米台运动轴示意图


◆ 外形尺寸:175x175x35mm,中空尺寸:75x75mm;

行程为500μm±5mrad,分辨率为2.5nm0.05μrad;

◆ 采用无摩擦、无空回柔性铰链并联导向系统,具有超高的导向精度;

◆ 内置高性能的压电陶瓷,高可靠性;

内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈,开/闭环可供选择。

专业知识与技术

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六维压电纳米位移台 ║P685S

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